2014年 第61回応用物理学会春季学術講演会　シンポジウム

主題　「真空の制約を超える：電子やイオンを用いた分析法の実環境測定への挑戦」

　　応用物理学を支える種々の機器分析法は真空技術と一体になって進歩してきた．これは多くの
　分析法ではプローブまたは信号のいずれかに電子またはイオンを用いるため，データの取得に際
　して電子またはイオンの十分な平均自由行程を確保できる真空環境が原理的に必要になるからに
　他ならない．ところが，大気環境下や溶液中あるいは実デバイス構造の内部など，理想的な真空
　環境下とは異なった条件にある試料の測定ニーズが近年益々高まっており，電子やイオンを用い
　てこれらに対応できる測定の実現が求められている．そこで本シンポジウムでは，具体的には電
　子の結像により観察する電子顕微鏡とイオンを信号として検出する質量分析法に関して，試料取
　扱法の開発・改良等を通じてこれら課題を解決した事例をご紹介いただき，真空技術と実環境ニ
　ーズの共存について考えてみたいと思う．


日　時：2014年3月19日(水)　14：00〜17：30
場　所：青山学院大学 相模原キャンパス（神奈川県相模原市中央区淵野辺）講演会場F7
世話人：*佐々木 正洋（筑波大），中村 健（産総研），吉越 章隆（原子力機構）（*代表世話人）

　　　　　　　　　　　　　　　講演プログラム

「電子で観る・イオンで測る：物理分析と真空技術（15分）」　（産総研）○中村　健　14：00〜14：15

「環境制御型透過電子顕微鏡(ETEM)の開発とその実環境下での応用」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（大阪大学・産業科学研究所）○竹田精治　14：15〜14：45

「大気圧走査電子顕微鏡の開発」
　　　　　　　　　　 （日本電子1，産総研2）○須賀三雄1，西山英利1，佐藤主税2　14：45 〜 15：15

「イオン液体を用いたin situ電子顕微鏡観察技術の開発」
　　　（阪大院工1，名古屋大院工2）○桑畑　進1，上松太郎1，津田哲哉1，鳥本　司2　15：15〜15：45

　　　　　　　　　　　　　　　　　＜休憩＞

「レーザーイオン化個別粒子質量分析装置による大気エアロゾルの研究」
　　　　　　　　　　　　　　　　　　（名古屋大学太陽地球環境研究所）○松見　豊　16：00〜16：30

「液滴分子線法による溶液試料の真空中への導入とその反応解析」
　　　　　　　　　　　（学習院大理）○河野淳也，韮澤拓哉，小松憲介，長坂茉莉子　16：30〜17：00

「低真空二次イオン質量分析法(Wet-SIMS)の開発」
　　　　　　　（京大院工）○松尾二郎，草刈将一，藤井麻樹子，青木学聡，瀬木利夫　17：00〜17：30

お問い合わせ先：応用物理学会　TEL：03-5802-0861　FAX：03-5802-6520
　　　　　　　　日本真空学会　TEL：03-3431-4395　FAX：03-3433-5371
　　　　　　　　　　　　　　　e-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org
　　　　　　　　　　　　　　　URL：http://www.vacuum-jp.org