2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会
「日本真空協会企画シンポジウム」

主題 「大型真空システムの現状と今後の展開」

 真空技術は,各種分析機器や薄膜作製・微細加工装置と広い範囲に関わっているが,
今日,太陽電池等の大型パネル製造や高エネルギー加速器や,さらには,宇宙開発の
ための実証システムなど真空システム大型化が進んでいる分野が少なくない.そこで,
「大型化」というキーワードをスケールとして真空技術を俯瞰したとき,各種要素技術が
実用技術として成立するための真空技術の各役割ないしは各課題が浮き彫りにされる.
今後,真空技術がますます大型化に対応していかなければならないことが予想される
ため,そこで,本シンポジウムでは,大型製造装置から加速器,宇宙開発にわたり真空
技術が抱える問題を横断的・創造的に議論することにより,その課題を発掘し共有・連携
して異なる真空応用分野・真空環境の観点から議論を深めてゆくことをテーマとしたい. 日 時:2010年3月17日水曜日 13:00〜16:20 場 所:東海大学湘南キャンパス     〒259-1298神奈川県平塚市北金目1117     講演会場等詳細については,真空協会サイトならびに,応用物理学会サイトを     ご参照下さい. 講演プログラム (PDF版) 1)「イントロダクトリートーク」                 13:00−13:20   (日本真空協会会長(東京大学 生産技術研究所)) 岡野 達雄 2)「大型基板用の薄膜形成装置」                 13:20−14:00   (キヤノンアネルバ) 中村 昇 3)「大型ガラス基板へのスパッタリング装置(技術)」  14:00−14:40   (アルバック) 新井 真 <休憩14:40−14:55> 4)「大型加速器における真空システム - KEKB加速器を例にして -」 14:55−15:35   (KEK) 末次 祐介 5)「宇宙活動を支える真空システム」       15:35−16:15   (JAXA) 安藤 麻紀子     6)「クロージング」               16:15−16:20   (日本真空協会研究部会長(NIMS)) 土佐 正弘 問い合わせ先:応用物理学会 TEL:03-3238-1044 FAX:03-3221-6245         日本真空協会 TEL:03-3431-4395 FAX:03-3433-5371                e-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org                URL:http://www.vacuum-jp.org