第49巻第3号目次
第46回真空に関する連合講演会プロシーディングス
ー速 報ー
オゾン濃度その場測定によるUV光励起オゾン低温酸化過程プロセ
ス中のO(1D)の時間分布の解析
------------------戸坂亜希・西口哲也・野中秀彦・一村信吾
CdTe単結晶表面に対するプラズマエッチングとCd雰囲気中熱処理
の効果--------------------小池一歩・加藤拓馬・原田寿史・
越智 秀・矢野満明
キャピラリーを用いた安定な真空圧力場の作製
--------吉田 肇・新井健太・小松栄一・秋道 斉・平田正紘
イオンポンプケーブルの放射線劣化調査--大石真也・依田哲彦・
谷内友希子・成山展照・建石 剛・米原博人・大熊春夫
MO型フランジの加速器ビームダクトへの応用その2
−実機への適用−----------末次祐介・白井 満・大塚美智夫
Si(111)表面反射スペクトルのクラスター計算による評価
-------------------藻川芳晴・大野真也・首藤健一・田中正俊
Cu(110)表面に吸着したアミノ安息香酸イオン異性体の局所構造
観察--------------堀 雅史・片野 諭・金 有洙・川合真紀
Si(111)表面上のBr吸着における多臭化物の形成過程
--------------------------大和洋太・小間大弘・飯田貴則・
大野真也・首藤健一・田中正俊
ステンレス鋼中のトリチウムの分布------鳥養祐二・村田大樹・
R.-D. PENZHORN・赤石憲也・渡辺国昭・松山政夫
パルスレーザー堆積法による酸化亜鉛系透明導電膜の有機基板上
への成膜------------------前田 剛・安倉秀明・鈴木晶雄・
青木孝憲・松下辰彦・奥田昌宏
パルスレーザー堆積法により作製したZnO系透明導電膜の特性改
善--------------高瀬康則・安倉秀明・中村篤宏・東村佳則・
鈴木晶雄・青木孝憲・松下辰彦・奥田昌宏
誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により
作製したニッケル薄膜の基板バイアス電圧依存性
----------------------------竹迫寿晃・岡山勇太・川畑敬志
高周波多重磁極スパッタ法によるニッケル薄膜の作製
------------------岡山勇太・竹迫寿晃・古瀬寛和・川畑敬志
ポリイミドフィルムへのTaAl-N薄膜の形成〜広領域真空センサ応
用への可能性の検討〜--------------岡野夕紀子・田尻修一・
青園隆司・岡本昭夫・小川倉一・美馬宏司
KCl(100)基板上に作成されたバナジルフタロシアニン膜の配向評
価--------------加藤幹大・落合鎮康・澤 五郎・内田悦行・
小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉
高分子ゲート絶縁膜を用いたフレキシブル有機電界効果トランジ
スタの作製------金 永龍・落合鎮康・澤 五郎・内田悦行・
小嶋憲三・大橋朝夫・水谷照吉
電力一定放電下の反応性スパッタリングによる酸化シリコンの組
成制御----------飯村靖夫・多久島和弘・中野武雄・馬場 茂
高周波マグネトロンスパッタリング法によるPb(Zr,Ti)O3圧電膜
薄膜の量産技術----木村 勲・西岡 浩・菊地 真・鄒紅コウ
低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いた金の堆積率
の測定--日根清裕・吉村 智・前田拓也・木内正人・浜口智志
負イオン注入形成Geナノ粒子含有SiO2薄膜の電気的特性
------洗 暢俊・辻 博司・後藤直行・箕谷 崇・中塚博之・
小嶋研史・柳谷敏雄・奥峰徹也・大西 均・佐藤 剛・
原田真臣・足立浩一郎・小滝 浩・後藤康仁・石川順三
金属体に沿って伝搬するマイクロ波による高密度プラズマ生成
----------------------------上坂裕之・飯田 斉・梅原徳次
昇温脱離法による粘土鉱物表面へのカドミウム吸着の観察
--------------大野謙太郎・高松利恵子・高木祥示・後藤哲二
シミュレーションによるPierce型電子銃の基本設計
------------------渡辺将也・楠本淑郎・寺島隆一・沈 国華
雰囲気ガスの流れと加熱がスパッタ粒子の輸送に及ぼす影響
--------------------------------------岩田健一・楠本淑郎
パーフルオロ化合物プラズマ下流における気相分子成長
−観測・反応・成膜−------古屋謙治・雪田 忍・奥村洋史・
中西良一・蒔田 慎・原田 明
大気圧プラズマを用いた円筒型高分子材料の表面改質 II
−親水化処理特性における電極構造の効果−
--------------------------小田川健二・貞本 満・小野 茂
マイクロ波矩形プラズマを用いた高分子表面親水化の研究
----------------------------吉木宏之・小松雄一・鈴木文刀
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