産学連携委員会の新年最初の例会は，“真空”に関するテーマを取り上げました．産業界からは長年の関西の公
　立研究所との連携で製品化したユニークな真空ゲージについてのご講演と，学会からは，真空排気の分野で古くて
　新しい問題，”水の排気“に関する最新の知見のご講演です．
　　皆さま多数のご参加をお待ち申し上げます．


　日　時：平成 25（2013）年 1 月 23 日（水）14:00〜16:30
　場　所：機械振興会館（芝公園）　B3−6号室（地下3階）
　参加費：無料

　　　　　　　　　　　　　　　　　　−プログラム−

　開会挨拶　　　　　　　　　　　　　　 （日本真空学会　産学連携委員会委員長）　土岐　和之　14:00〜14:10

　1.マイクロハクマクTM圧力センサを用いた真空加工装置内の圧力分布計測，および製膜中の動特性計測
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （（株）岡野製作所　開発部　係長）　田尻　修一　14:10〜15:10

　　［講演要旨］

　　真空加工装置内の圧力は，プロセスガスの導入，装置内の構造物，およびプラズマの発生等による影響で必ずしも
　均一ではない．小型化・高速応答化のマイクロハクマクTM圧力センサ（熱伝導型方式センサ）を装置内の必要個所に
　複数取り付けることにより，位置的・時間的な圧力変動をピンポイントで計測することが可能になった．
　　スパッタ装置による計測実施例と，計測を行ったシステムについて紹介する．


　　　　　　　　　　　　　　　　　　休　　憩（15:10〜15:30）

　2.真空容器における水の排気を考える
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 （東京大学　生産技術研究所　教授）　福谷　克之　15:30〜16:30

　　［講演要旨］

　　真空容器を大気から排気すると，はじめ圧力は指数関数的に急速に下がり，その後ゆっくりと時間をかけて低下する．
　この圧力の振る舞いは，真空容器内壁での水の吸着・脱離に支配されている．最近われわれが行った排気曲線の解析を
　中心に，水の排気について議論する．


　講演終了後，講師をお招きして交流会（会費２,000円）を開催します．講師への質問，相互の情報交換等，有意義な
　ディスカッションができますので，こちらにも多数ご参加下さい．
　なお，例会，懇親会に参加ご希望の方は準備の都合上，事前に事務局宛ご連絡頂きますようお願いいたします．


　申込み・問合せ先：一般社団法人 日本真空学会　事務局
　　　　　　　　　　〒105-0011 東京都港区芝公園3-5-8 機械振興会館306号室
　　　　　　　　　　TEL:03-3431-4395　FAX:03-3433-5371
　　　　　　　　　　E-mail:ofc-vsj@vacuum-jp.org